我們生活中用到的電子設(shè)備、如手機(jī)、電腦、電視都是依賴(lài)于各種芯片。而每個(gè)芯片的核心是一個(gè)圓片，它是從各種圓片上切割下來(lái)的。晶圓本身存在良率問(wèn)題，晶圓表面也可能存在各種缺陷。為了防止有缺陷的晶圓流入后續(xù)封裝過(guò)程，必須使用光學(xué)檢測(cè)設(shè)備對(duì)晶圓表面缺陷進(jìn)行識(shí)別、分類(lèi)和標(biāo)記，并輔助晶圓分揀。那么接下來(lái)我們就來(lái)說(shuō)說(shuō)機(jī)器視覺(jué)檢測(cè)晶圓的解決方案。

【測(cè)量需求】

1.晶圓三維表面形貌

2.晶圓表面缺陷

【檢測(cè)步驟】

1.固定晶圓樣品至FocalStation測(cè)量臺(tái)，并進(jìn)行機(jī)械原點(diǎn)歸位;

2.在FS軟件中設(shè)置掃描參數(shù)，開(kāi)始掃描并等待任務(wù)完成;

3.數(shù)據(jù)預(yù)處理，包含校平、光學(xué)降噪等;

4.分析與報(bào)告;

【晶圓表面缺陷檢測(cè)優(yōu)勢(shì)】

1.設(shè)備特點(diǎn)：特殊膜片自動(dòng)送料機(jī)構(gòu)。

2.檢測(cè)精度：精度可達(dá)微米級(jí)。

3.檢測(cè)效率：檢測(cè)速度可達(dá)每分鐘1200個(gè)。

4.主要功能：檢測(cè)長(zhǎng)、寬、高、直徑、混合、變形、缺料、毛刺、黑點(diǎn)、劃痕、污點(diǎn)等

5.適用范圍：適用于橡膠圈、螺絲、螺母、汽車(chē)配件、手機(jī)配件、不銹鋼、鋁、塑料、磁性材料、五金配件、電子產(chǎn)品等設(shè)備的檢測(cè)。

6.非接觸式測(cè)量：由于不會(huì)損壞觀(guān)察者或觀(guān)察者，提高了系統(tǒng)的可靠性。

7.機(jī)器視覺(jué)解決方案可以節(jié)省大量勞動(dòng)力，大大提高生產(chǎn)效率。

8. 寬光譜響應(yīng)范圍。例如，使用人眼不可見(jiàn)的紅外測(cè)量可以擴(kuò)大人眼的可視范圍。

9.長(zhǎng)期穩(wěn)定工作：雖然人類(lèi)很難長(zhǎng)時(shí)間觀(guān)察同一物體，但機(jī)器視覺(jué)可以長(zhǎng)時(shí)間執(zhí)行測(cè)量、分析和識(shí)別任務(wù)。

總結(jié) 機(jī)器視覺(jué)檢測(cè)可以很好的替代人工實(shí)現(xiàn)缺陷的檢測(cè)、提高工作的效率。杭州國(guó)辰擁有6年的工作經(jīng)驗(yàn)，幫助很多企業(yè)實(shí)現(xiàn)機(jī)器替代人工的方案實(shí)施。